為車間精密計(jì)量部位，例如雙頻激光干涉儀尼特直線度和精密加工車間檢查導(dǎo)軌的數(shù)控機(jī)床等。為了便于側(cè);干砂傾向于與系統(tǒng)干擾作為安裝在機(jī)器上被測(cè)試儀表中的一員，并以激光干涉儀系統(tǒng)和照明系統(tǒng)中分離，二者的干擾功率和來(lái)自系統(tǒng)熱量帶走。降低熱空氣的影響，但也使干擾系統(tǒng)接近量開(kāi)始位置，自由區(qū)，有利于消除錯(cuò)誤。

遙置式干涉儀的另一方面優(yōu)點(diǎn)是便于進(jìn)行更換于涉儀的組件，以擴(kuò)大企業(yè)應(yīng)用研究范圍，使雙頻干涉儀可以成為一個(gè)多功能干涉儀。除用于數(shù)據(jù)長(zhǎng)度計(jì)量處，還可有下列的應(yīng)用。

只用于精確角度測(cè)量的1.雙頻激光

角度測(cè)量頻率激光干涉儀，該干涉儀系統(tǒng)與一對(duì)薄膜的長(zhǎng)度測(cè)量塊組的取代基所用的偏振光束分離器，另一組有一對(duì)角隅棱鏡反射鏡的作為干涉儀和測(cè)量參照反射鏡，分別的。雙頻率激光到該激光束的分割塊的下部設(shè)置雙層膜分離通過(guò)偏振分束器的偏振方向，其中，所述光通過(guò)朝向錐體校正反射鏡的偏振分束器傳送。

雙角錐梭鏡組安放我們?cè)诒粋?cè)物體上，當(dāng)它在一個(gè)導(dǎo)軌上平移且沒(méi)有進(jìn)行擺動(dòng)時(shí)，兩支光路的多普勒頻移會(huì)合后經(jīng)檢偏振器產(chǎn)生拍頻率，并在獲得拍頻中互相影響抵消，計(jì)算機(jī)無(wú)多普勒頻移值出現(xiàn)。如果雙角錐棱鏡組在移動(dòng)學(xué)習(xí)過(guò)程中，由于這種導(dǎo)軌的直線度誤差偏差而發(fā)生角的傾斜，則兩梭鏡的角點(diǎn)在虛擬光軸技術(shù)方向?qū)a(chǎn)生一種相對(duì)水平位移量。

雙頻激光干涉儀與自準(zhǔn)直儀相似，可精確測(cè)量導(dǎo)軌的直線度平面和平板的平整度。 測(cè)量導(dǎo)軌直線度時(shí)，雙膜塊組固定在適當(dāng)位置，而雙角穿梭鏡組固定在工作臺(tái)上，通過(guò)移動(dòng)工作臺(tái)可以測(cè)量角量表示的直線度..

2，雙頻激光干涉儀側(cè)平直度的量

測(cè)量直線度的原理，雙頻定位激光束通過(guò)半反射鏡至漫拉斯頓偏振分束器上，正交線偏振光被分開(kāi)成一個(gè)夾角為固定值的兩束線偏振光，分別直接射向雙面影響反射的兩界并由我們?cè)贩祷?，返回自然光在渥拉斯頓鏡重新會(huì)合后，經(jīng)半反射鏡、全反鏡反射到檢偏器。兩光束在檢偏器后形成進(jìn)行拍頻并被光電信息接收器可以接收。

3.雙頻激光進(jìn)行干涉技術(shù)用于同軸度的精密側(cè)量

直頻率激光測(cè)量?jī)x，測(cè)量直線長(zhǎng)距離，高精確度和可靠性，該儀器也可以工程化以高精度測(cè)量為與圓周度長(zhǎng)的距離。

同軸度測(cè)量?jī)x器應(yīng)具有通過(guò)以下幾個(gè)特點(diǎn)：

1、 能夠通過(guò)進(jìn)行一個(gè)間斷測(cè)量，在同軸度測(cè)量中，定心靶子從一個(gè)孔移到另一個(gè)孔時(shí)，光傳感系統(tǒng)元件離開(kāi)光路是不可為了避免的，因此當(dāng)傳感技術(shù)元件可以暫時(shí)離開(kāi)光路再回到光路中，儀器要能夠發(fā)展繼續(xù)照常開(kāi)展工作，即暫時(shí)擋光并不重要影響學(xué)生測(cè)量研究結(jié)果，這是一種測(cè)量同軸度所必需的。

2，具有電平自適應(yīng)于票和激光束的漂移的角度測(cè)量系統(tǒng)，束偏移應(yīng)不影響測(cè)量結(jié)果。

3、 光學(xué)信息系統(tǒng)對(duì)大齊擾動(dòng)應(yīng)具有能力較強(qiáng)的抵抗力。

4.由于測(cè)量同軸度時(shí)，定心目標(biāo)必須從一個(gè)孔移動(dòng)到另一個(gè)孔，因此必須進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，測(cè)量時(shí)間較長(zhǎng)，因此要求儀器具有較好的長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定性。

傳統(tǒng)的雙頻率激光直線度干涉不能滿足要求，因?yàn)樵谙辔绘i定頻率計(jì)數(shù)的信號(hào)處理的雙頻激光干涉儀的直線，所述中斷信號(hào)是不允許的，否則立即計(jì)數(shù)無(wú)效。和同心度測(cè)量中，從一個(gè)目標(biāo)向另一個(gè)井定心孔必然阻擋光期間，因此信號(hào)中斷是不可避免的，雙頻激光干涉儀不能測(cè)量平直度的同心度。