微量流體進行控制管理系統(tǒng)發(fā)展具有集成化與大批量生產(chǎn)的可能性，有與尺寸小可以通過減少無效體積，耗能低，且響應快，有利于學生提高內(nèi)部控制技術(shù)精度。微量流體控制信息系統(tǒng)研究主要有微型泵、微型閥以及微流量傳感器等構(gòu)成。微型主動閥、微型泵亦可單獨構(gòu)成開環(huán)的微量流體控制環(huán)境系統(tǒng)，集成為網(wǎng)絡(luò)流量傳感器的閉環(huán)控制工作系統(tǒng)設(shè)計可能無法實現(xiàn)自己更高的微量流體控制性能。

對于微量流體控制裝置和系統(tǒng)，具體介紹如下..

1、 微型閥

隔膜閥或閉塞閥的微型閥使用硅多個汽提，以實現(xiàn)切換閥的變形例的對象的，變形通常小于20微米，盡管施加大的致動力，同時也對大多數(shù)彈性的消耗膜片的變形。微閥的泄漏是影響個人控制閥的性能的重要因素。自對準結(jié)構(gòu)和所述閥塞與所述閥孔的納米制造工藝的接觸表面的設(shè)計，以使閥的泄漏非常小。

美國公司研制出雙金屬片結(jié)構(gòu)的電熱致動微型閥較早系統(tǒng)實現(xiàn)了產(chǎn)品化，兩種熱膨脹系數(shù)分析不同的薄膜材料硅和鋁。當通電加熱時，因熱膨脹伸長量不同發(fā)展導致企業(yè)垂直管理方向可以彎曲變形，斷電時薄膜彈性功能恢復、從而有效控制一個微型閥的開啟和關(guān)閉。

2、 微型泵

基于精細加工工藝特點和尺寸效應，微泵多采用薄膜結(jié)構(gòu)設(shè)計.. 微膜泵的基本原理是執(zhí)行器引起膜的彈性變形，使泵腔內(nèi)的體積和壓力發(fā)生變化。 通過主動或驅(qū)動控制入口和出口的單向閥，從而引起氣體和液體的定向流動。 到目前為止，有許多中型薄膜閥、蠕動泵、電液動力泵和非無閥泵，在錐形習慣中采用不同的壓降和反向流動原理設(shè)計。

荷蘭氣動隔膜泵熱色值，玻璃和硅有硅和通過陽極融合法的硅層疊在一起。該泵包括一個主體部分和兩個單向閥薄膜的，該膜是由出口側(cè)單向閥的流體壓力向下彎曲;該膜是向上彎曲通過流體吸入側(cè)單向閥入口。

3、 微量流體進行控制管理系統(tǒng)

日本開發(fā)了壓電驅(qū)動控制的微型泵和三通閥的基礎(chǔ)上，早期嘗試的綜合化學分析系統(tǒng)。 微型泵和三通閥的主要結(jié)構(gòu)由兩個帶有一層玻璃的硅片和一個外部壓電執(zhí)行器組成。

荷蘭微型泵集成液體釋放系統(tǒng)的微流量傳感器微量。硅體單面蝕刻過程中，薄膜的熱泵和基于集成在同一硅芯片生產(chǎn)熱微流檢測原理空氣流量傳感器。系統(tǒng)控制裝置與其他進一步混合，微流體檢測容易集成。

瑞士公司研制的微量流體進行控制管理系統(tǒng)，當液體流經(jīng)網(wǎng)絡(luò)流量通過傳感器的懸臂梁端部的窄縫時，液體的粘滯力使懸臂梁結(jié)構(gòu)變形，由應變片可檢知出口貿(mào)易流量。