在超精密機(jī)床和超精密加工，以使微位移機(jī)的分辨率進(jìn)一步提高，同時(shí)也為機(jī)床和加工誤差進(jìn)行補(bǔ)償，以提高形狀精密加工，需要使用微位移機(jī)構(gòu)。高精度微自由基機(jī)理已經(jīng)成為一個(gè)重要的超精密機(jī)床及關(guān)鍵功能部件?，F(xiàn)在微位移機(jī)構(gòu)已達(dá)到0.005--0.01微米的分辨率，這對于實(shí)現(xiàn)高的尺寸精度的加工誤差和補(bǔ)償線有用。

一。微量進(jìn)給裝置要求

在超精密機(jī)床中，利用微進(jìn)給裝置夾緊金剛石刀具，對刀具進(jìn)行微調(diào)。 如在超精密磨削中，砂輪進(jìn)給要求達(dá)到百分之幾微米; 在超精密車削中，金剛石刀具要保證亞微米的精度。

還采用微自由基機(jī)制來彌補(bǔ)超精密機(jī)床的微內(nèi)聯(lián)誤差，要求位移分辨率達(dá)到幾微米..因此，良好的精密和超精確位移機(jī)構(gòu)應(yīng)滿足以下要求：

（1）進(jìn)料和微妙的原油原料應(yīng)分開，以提高精確度，分辨率和穩(wěn)定性的微位移。

（2） 為了獲得高的重復(fù)精度，運(yùn)動部件必須具有低摩擦和高穩(wěn)定性。

(3)最終傳動元件必須具有高剛度，即金剛石刀具的夾緊位置必須具有高剛度。

（4）微進(jìn)給機(jī)構(gòu)內(nèi)部的連接必須可靠，盡量保持最小的間隙和剛性連接，否則微進(jìn)給機(jī)構(gòu)很難達(dá)到高重復(fù)性。

（5）技術(shù)好，容易地制造。為了達(dá)到0.01微米飼料，微量元素機(jī)構(gòu)本身的進(jìn)給精度，應(yīng)該是精度可以制造。

微進(jìn)給裝置有多種結(jié)構(gòu)形式，其工作原理也各不相同。根據(jù)精密和超精密微進(jìn)給裝置的要求，只有彈性變型和壓電陶瓷微進(jìn)給機(jī)構(gòu)比較適合和成熟。

2. 彈性變形微進(jìn)給裝置

彈性變形微進(jìn)給器穩(wěn)定可靠，重復(fù)性好..這種變形微進(jìn)給裝置非常適合手動操作。

3. 壓電陶瓷微進(jìn)給裝置

為了實(shí)現(xiàn)全自動微進(jìn)給，要求微進(jìn)給裝置具有較好的動態(tài)特性，現(xiàn)多采用壓電陶瓷微進(jìn)給裝置..壓電陶瓷具有逆壓電效應(yīng)和電致伸縮效應(yīng)，這是介電變形在電場作用下的基本電耦合效應(yīng)。電致伸縮效應(yīng)的變形量與電場強(qiáng)度的平方成正比。壓電陶瓷在制造微型進(jìn)給機(jī)構(gòu)方面具有許多優(yōu)點(diǎn)..

他可以實(shí)現(xiàn)高剛性無間隙位移可以實(shí)現(xiàn)極為精細(xì)微位移，更大的變形系數(shù)。高頻率響應(yīng)，無熱量問題使沒有電流。